Устройство микроэлектромеханической системы и способ его изготовления

1. Настоящее изобретение относится к области техники микромеханических систем и, в частности, к устройству микроэлектромеханической системы и его упаковочной конструкции.

Техника фона:

2. Микроэлектромеханическая система (мемс, микроэлектромеханическая система), известная также как микроэлектромеханическая система, микросистема, микромашина и т.п., относится к высокотехнологичным устройствам размером несколько миллиметров или даже меньше.

3. Устройства микроэлектромеханических систем (или устройства МЭМ) — это устройства, изготовленные с использованием полупроводниковой технологии для формирования механических и электронных компонентов. Общие устройства MEMS включают резонаторы, ускорители, датчики давления, приводы, зеркала, нагреватели и сопла принтера. Структурные изменения, такие как растрескивание, сморщивание, расслоение, деформация, складывание и т. д., могут даже привести к выходу устройства из строя.

4. Ввиду вышеупомянутых дефектов необходимо предоставить новое устройство MEMS и его структуру упаковки.

Свяжитесь с нами:

Email: zhang@pride-cnc.com

Тел.: плюс 86-755-23699351

Моб: плюс 8618666663894