Способ изготовления микромеханического компонента сенсорного устройства или микрофонного устройства
Sep 16, 2022
Оставить сообщение
Элементы технической реализации:
3. Настоящее изобретение предлагает микромеханический компонент для сенсорного устройства или микрофонного устройства с признаками по п.1 и способ изготовления микромеханического компонента для сенсорного устройства или микрофонного устройства с признаками по п.5.
4. Преимущества изобретения
5. Конструкция согласно изобретению на основе по меньшей мере одного расходуемого слоя по меньшей мере из одного электроизолирующего расходуемого слоя материала микромеханического компонента, предлагаемого изобретением и того же. по меньшей мере один электроизоляционный материал из материала изолирующего расходуемого слоя, чтобы сконфигурировать полость микромеханического компонента, можно осуществить процесс, подходящий для частичного удаления по меньшей мере одного расходуемого слоя, не беспокоясь о повреждении или удалении хотя бы один участок изоляции. Таким образом, изобретение упрощает оснащение соответствующего микромеханического компонента согласно изобретению, по меньшей мере, одной изолирующей областью, предпочтительно подходящей для электрической изоляции конструкции электрода от мембраны, между слоем материала мембраны и слоем материала электрода. электрически изолирующим и/или отделяющим по меньшей мере одну остаточную область по меньшей мере одного расходуемого слоя от полости. Таким образом, изобретение улучшает микромеханический компонент в соответствии с изобретением по сравнению с известным уровнем техники и дополнительно способствует снижению трудозатрат и стоимости изготовления микромеханического компонента в соответствии с изобретением для изготовления микромеханического компонента в соответствии с изобретением.
6. По меньшей мере одна изолирующая область для отделения по меньшей мере одной остаточной области по меньшей мере одного расходуемого слоя может, в частности, действовать как «защита от травления» от нежелательного травления по меньшей мере одной остаточной области во время изготовления полости. В то же время достигается, по меньшей мере, одна изолирующая область, выполненная из, по меньшей мере, одного электроизоляционного материала для отделения, по меньшей мере, одной остаточной области.
Свяжитесь с нами:
Email: zhang@pride-cnc.com
Тел.: плюс 86-755-23699351
Моб: плюс 8618666663894